數顯顯微硬度計儀器誤差主要反映在負荷、壓頭與顯微鏡的精度：下面小編具體介紹一下。
　　（1）負荷的影響：主要因素為砝碼重量超差，表現為銹蝕、損傷、表面鍍層脫落等；負荷彈簧性能變化等；負荷作用力方向與試樣不垂直，這時會產生一個水平分力，使負荷減小；加荷機構上未被平衡的摩擦阻力，常常是由于機體安裝水平未調整好，或者由于主軸導向機構不對中心所引起。
　　一般來講，負荷值的誤差與硬度值誤差成正比，但方向相反。即當符合誤差為±1%時，硬度值產生的誤差為±1%。硬度誤差還隨負荷的降低而增高，所以在試驗條件允許的情況下，應盡可能選用較大的負荷進行試驗。
　　（2）壓頭的影響：壓頭的幾何形狀和其面角與橫刃的公差應受技術條件規定的約束，否則均會對硬度值造成影響，但這決定與壓頭生產的廠家。壓頭的四個三角形工作面應光滑、平整和有良好的光潔度，有條件的單位應對新的壓頭進行檢驗。在使用過程中壓頭受到損傷，如頂角磨損、壓頭工作面上附著有油污或壓頭上粘滯著某些金屬，會使壓痕邊緣粗糙和不規則，這些均會增大測量誤差，影響示值精度。
　　（3）顯微鏡的精度：測微目鏡的測量精度不夠，會造成壓痕對角線的測量誤差，對顯微硬度值的影響的計算公式與維氏相同，壓痕對角線的誤差會使硬度值的誤差成倍增長，即硬度誤差是壓痕對角線誤差的兩倍。此外，物鏡放大倍數的準確性也直接影響到硬度值的計算結果。因此，儀器應該定期進行校正，即檢查和校正在高倍和低倍物鏡下，測微目鏡上每一小格的實際格值。
　　其他還應注意到數值孔徑、照明條件、光學系統的質量等，這些均與獲得準確的硬度數值有關。